기술:CLOT Boutique
스퍼터링은 새로운 유형의 PVD(Physical Vapor Deposition) 방법입니다.
스퍼터링은 평판 디스플레이, 유리 산업(건축용 유리, 자동차 유리, 광학 필름 유리 포함), 태양 전지, 표면 공학, 기록 매체, 마이크로 일렉트로닉스, 자동차 조명 및 장식 코팅 등에 널리 사용됩니다.
스퍼터링은 주로 평판 디스플레이, 코팅 유리 산업(건축용 유리, 자동차 유리, 광학 유리 및 기타 필름 포함), 박막 태양열, 표면 공학(장식 및 도구), (자기, 광학) 기록 매체, 마이크로일렉트로닉스 자동차 조명, 장식 코팅에 사용됩니다.
Rotatable Target 분야에서는 2009년에 모놀리식 튜브 타겟을 제안하여 국내외 고객이 인정했습니다. 우리는 고객의 요구 사항에 따라 다음과 같은 크기를 제공 할 수 있습니다.
평면 타겟 : 단일 무게 : ≤ 260kg, 순도 : ≥99.97 %
돌릴수 있는 표적: OD: Φ140-180mm, ID: Φ125-Φ135mm. 길이 ≤ 3300mm, 순도 : ≥99.97 %
화학적 구성 요소
| Mo 내용 | 다른 요소의 내용의 합 | 각 요소 내용 |
|---|---|---|
| ≥99.97% | ≤0.03% | ≤0.001% |
